表面檢查燈,從廣義上來說:檢查表面情況的燈具都是表面檢查燈。有的因為被用于不同材質表面檢查不同的情況,而被命名多種。
表面檢查燈主要用于檢查玻璃、屏幕、晶圓等材質表面瑕疵(微塵、刮花)和管道等脫脂清洗后的情況,其他的表面檢查燈,根據應用的材質不同而被不同命名。
1、檢查屏幕、晶圓、玻璃、面板,基板等材質表面檢查燈,主要為綠光、橙黃光、黃綠光,樣式有手電筒式、手持式、桌面式(坐式和夾式),懸掛式;
2、金屬表面探傷檢查,也叫紫外線探傷燈(黑光燈)或無損探傷燈,有LED的也還有傳統高壓氣體的,樣式有手電筒式、頭戴式、桌面式、燈條式、懸掛式;
3、檢查管道、閥門等脫脂清洗后是否還殘留油脂,主要為紫外線檢查燈,樣式主要為手電筒式和手持式,易于攜帶,方便操作;
4、液壓系統、閥門等泄露檢查,被稱為熒光撿漏燈,主要是藍光和紫外線,樣式主要為手電筒式和手持式;配合撿漏劑檢查,撿漏劑主要分為油基和水基撿漏劑;
5、檢查肉眼看不到的體液,如:精液、汗液、等,被稱為刑警法醫檢查燈,主要樣式為手電筒式和手持式;
6、用于實驗室,檢查動植物蛋白。
綠光表面檢查燈利用了介于500nm波長以上眼睛感覺Z舒服的波段,來做透明玻璃或是鏡面不銹綱工作對象particle及刮傷判別檢查。
3300應用場合在晶圓、光盤片、曝光玻璃、玻璃光罩、底片、LCD ITO等表面之顆粒Particle異物及刮痕檢查。需要指出的是,該儀器只是對本來存在顆粒異物等的“放大"作用,為主觀判斷的表面檢查燈。